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SPM MV4000
掃描探針顯微系統-近場光學 (SPM/ AFM-Raman/ NSOM)

光譜式膜厚量測儀 (SE/RP)
表面電漿處裡 CUTE                                          FemtoScience 電漿反應系統 (Plasma Treatment)

螢光影像系統
手持式拉曼光譜儀&資料庫比對