渦輪分子泵 Turbo Pump

渦輪分子泵 Turbo Pump

渦輪分子泵系列擁有抽速介於10到2,700 升/秒的完整渦輪分子泵產品分布。

產品具有很高的性價比和靈活的安裝方式。

經過實踐驗證的軸承系統提供了更優化的可靠性。

通常有兩種類型的軸承可供選擇：一種是由前級真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的覆合軸承系統，另一種是完全主動式的磁懸浮軸承系統，其轉子懸浮空中，無任何接觸或磨損。得益於精密的轉子設計，使產品具有更出色的抽速，更好的前級泵兼容性和更大的氣流量，對於小分子氣體具有更高的壓縮比。

完美的真空解決方案 滿足最高要求

現代渦輪分子泵能獲得超過 400 米/每秒的圓周速度。這將轉化為相應的高轉子動能，當轉子和定子相觸，動能將在瞬間傳輸到外殼和泵的底座上。因此，泵外殼的穩定性具有至關重要的作用，需經過理論和實際的雙重檢驗。本系列渦輪分子泵已通過UL 61010和/或Semi S2認證。除機械安全性能外，該認證同時也包括了防火和轉速過高的雙重保護。

應用

在很多產品制造和工藝研究領域中，真空技術發揮著決定性的作用。渦輪分子泵對於制造極純工藝條件具有至關重要的作用。

應用範圍覆蓋多個領域：

★ 分析儀器（質譜分析法、顯微鏡等）

★ 半導體行業（電子組件、集成電路、太陽能電池等）

★ 光學/玻璃行業（隔熱保護、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

★ 真空鍍膜技術*（表面保護、裝飾土層、顯示技術、屏幕等）

★ 真空冶金（真空焊接、真空燒結、真空合金、真空爐等）

★ 泄漏檢測（真空系統、機車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業）

★ 科研設施（核粒子物理學、核聚變研究、激光應用等）

★ 燈具行業（燈具生產等）