LED 顯微曝光系統
 
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商品名稱:

LED 顯微曝光系統

 

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詳細介紹:

顯微鏡LED 曝光系統 UTA 系列

  

<介紹>

◎ 顯微鏡 LED曝光系統 UTA系列,為不需使用光罩即可以完成曝光 Pattern 的投影式曝光設備。
◎ 使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機,即可在塗布光阻的基板上進行幾μm投影解析度的小範圍 Pattern曝光。

◎ Pattern 可以使用電腦繪圖自由製作。
◎ 在大氣環境下,於多種大小、形狀以及層狀單晶薄膜上形成電極,其價格比一般電子束曝光機更便宜、方便性更高。使用時也不需要製作 Pattern Mask,可以大幅降低研發成本。

 

<使用案例>
◎ 形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量測用試料之電極。
◎ Mo 原石取出薄片,形成原石特性評估的電極。

 
<特色>
◎ 使用顯微鏡和 DLP 組合之曝光系統,可比既有系統擁有更具競爭性之價格
◎ 軟體操作簡便,可以自由製造曝光Pattern。
◎ 使用物鏡倍率,可以達成微細Pattern 與大範圍的曝光。
◎ 可以製造微米等級大小的 Pattern 。