CVD Graphene
電漿反應系統
Femto Science
腔體尺寸: 55 Dia. × 1300 L, mm
腔體溫度: 最高1200˚ C
功率: 300W, 20 – 100 KHz
控制器: 7吋觸控面板,自動/手動控制
設備尺寸: 1750 × 700 × 1200 (W × D × H, mm)
選配套件: 300W RF產生器