Surface Treatment

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商品名稱:

詳細介紹:

電漿反應系統

Femto Science

Surface Treatment 表面處理設備

設計精美，多種腔體尺寸及功率可供選擇，可加裝石英反應管，最高支援6組氣體管路。全面配備7吋觸控面板，可全自動系統控制。

腔體尺寸: 140 × 200 × 110 (W × D × H, mm)

功率: 100W, 20 – 100 KHz

控制器: 7吋觸控面板，自動/手動控制

設備尺寸: 580 × 580 × 340 (W × D × H, mm)

腔體尺寸: 200 × 220 × 160 (W × D × H, mm)

功率: 200W, 20 – 100 KHz

控制器: 7吋觸控面板，自動/手動控制

設備尺寸: 618 × 630 × 460 (W × D × H, mm)

腔體尺寸: 330 × 350 × 250 (W × D × H, mm)

功率: 300W, 20 – 100 KHz

控制器: 7吋觸控面板，自動/手動控制

設備尺寸: 780 × 760 × 800 (W × D × H, mm)

選配套件: 石英管(200 Dia. × 300 L, mm)、RF產生器(300W)

腔體尺寸: 客製化

功率: 最高2000W, 20 – 100 KHz

控制器: 7吋觸控面板，自動/手動控制

氣體管路: 最多6組

選配套件: 石英管、RF產生器

產品介紹